洁净厂房施工及质量验收规范 GB51110-2015

　　的通知》(建标函[2005]124号)的要求，由中国电子工程设计院、工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站会同有关单位共同编制完成。

　　本规范在编制过程中，编制组结合我国洁净厂房施工验收的实际情况，进行了广泛的调查研究，收集整理国内外在洁净厂房施工验收方面的标准和相关资料，认真总结多年来洁净厂房施工验收的经验，广泛征求了国内有关单位的意见，最后经审查定稿。

　　本规范共分14章和4个附录，主要内容包括总则，术语、缩略语，基本规定，建筑装饰装修，净化空调系统，排风及废气处理，配管工程，消防、安全设施安装，电气设施安装，微振控制设施施工，噪声控制设施安装，特种设施安装，生产设备安装，验收等。

　　本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院负责具体技术内容的解释。本规范在执行过程中，请各单位注意结合工程实践，认真总结经验，积累资料，如发现需要修改或补充之处，请将有关意见、建议和相关资料寄交中国电子工程设计院(地址：北京市海淀区西四环北路160号玲珑天地九层，邮政编码：100142，传真)，以便今后修订时参考。

　　主要起草人：陈霖新  侯忆  缪德骅  秦学礼  张利群 李锦生  晁阳  史天平  肖红梅  陈骝 宁敏捷  彭定志  杨丽敏  张彦国  姜伟康 吴应应  陈思源  万铜良  杜宝强  吴东 熊墨臣  陈伟  潘汝奇  赖连兴  李新丰

　　主要审查人：涂光备  王唯国  黄广连  张耀良  王福国 刘建勋  腾久品  华为群  吕信宏  王建 陆小安  姜道才  杨小华  纪丽君  项琼

　　1.0.1  为了加强洁净厂房工程的施工及质量管理，确保工程质量，统一洁净厂房的工程质量及验收要求，制定本规范。

　　1.0.3  本规范中的施工质量验收应与现行国家标准《建筑工程施工质量验收统一标准》GB 50300配套使用。

　　洁净室(区)内悬浮粒子洁净度的水平。给出规定粒径粒子的最大允许浓度，用每立方米空气中的粒子数量表示。

　　采用强光源对风管的咬口、接缝、法兰及其连接处进行透光检查，确定孔洞、缝隙等渗漏部位及数量的方法。

　　指电子产品生产过程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性的气体。

　　洁净厂房中，用以输送、分配工艺用水、纯水、各类气体、化学品等的管路系统的管子、附件、管件、法兰、螺栓连接件、垫片、阀门和其他组成件的组装总成。

　　对指定的一批配管的全部环向对接焊缝所做的全圆周射线检验和对纵焊缝所做的全长度射线  缩  略  语

　　3.0.1  洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点，制订施工方案和程序，并应做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚，同时应确保整体施工质量和安全操作。洁净厂房的总体施工程序可按本规范附录A执行。

　　3.0.2  对洁净厂房工程内各专业设计图纸进行深化施工详图设计时，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定，并应加强设计质量管理，施工详图应得到原设计单位的书面同意或确认。

　　3  吊顶、隔墙、门窗、送回风口、灯具、报警器、设备留洞、管线留洞、特殊留洞等设施的综合布置和气密性节点图;

　　4.1.2  洁净厂房装修工程还应符合现行国家标准《建筑内部装修防火施工及验收规范》GB 50354、《建筑装饰装修工程质量验收规范》GB 50210的有关规定。

　　4.1.4  洁净厂房装饰装修工程的施工应在厂房主体结构和屋面工程完成并验收合格后进行。对现有建筑进行洁净室装饰装修时，应对现场环境、现有设施等进行清理与清洁，并应在达到洁净施工要求后再进行施工。

　　4.1.5  洁净厂房装饰装修工程施工过程应对施工现场进行封闭管理，并应对进出人员、设备和材料等进行洁净管制。

　　4.1.6  洁净厂房装饰装修工程施工时的环境温度不宜低于5℃。低温施工时，对有温度要求和影响的施工作业应采取保温措施。

　　4.1.8  洁净厂房装修工程施工过程应保护已完成的装饰装修工程表面，不得因撞击敲打、踩踏等造成表面凹陷、破损和表面装饰的污染。

　　4.2.2  洁净厂房涂装工程的检验批应按同类涂料涂饰面积每300m2～500m2划分为一个检验批，不足300m2也应划分为一个检验批。

　　4  新建筑应将建筑物表面建筑残留物清理干净，并用砂纸打磨;旧墙面在施工前应将疏松部分清理干净，并应涂界面剂后再补平;

　　5  当基层使用腻子找平时，应符合设计要求和现行行业标准《建筑室内用腻子》JG/T 298的有关规定。

　　4  基层表面的尘土、油污、残留物等应清除干净，并应用磨光机、钢丝刷全面打磨、修补找平，同时应用吸尘器清除灰尘;

　　5  对于旧地面为油漆、树脂及PVC地面清除时，应将基层表面打磨干净，并应用腻子或水泥等修补找平。

　　4.3.3  当有防静电要求时，应符合现行国家标准《防静电工程施工与质量验收规范》GB 50944的有关规定。

　　1  当基底表面为混凝土类时，其表面应坚硬、干燥，不得有蜂窝、麻面、粉化、脱皮、龟裂、起壳等现象，且应平整、光滑;

　　2  当基层为瓷砖、水磨石、钢板时，相邻板块高差不应大于1.0mm。板块不得有松动、裂缝等现象。

　　5  面层施工宜一次完成;分次施工时，应做到接缝少，并应设置于隐蔽处;接缝应平整、光滑，不得分色、露底。

　　4.3.7  地面涂装用材料应具有防霉、防水、易清洗、耐磨、发尘少、不积尘和对产品质量无害的性能。

　　4.4.1  高架地板及其支撑结构应符合设计和承重要求。安装前应检查出厂合格证和复核荷载检验报告，每种规格均应具有相应的检验报告。

　　4.4.3  高架地板的面层和支承件应平整、坚实，并应具有耐磨、防霉变、防潮、难燃或不燃、耐污染、耐老化、导静电、耐酸碱等性能。

　　4.4.4  对有防静电要求的高架地板，安装前应核查产品出厂证明、合格证和防静电性能测试报告。

　　4.4.5  对有通风要求的高架地板，面层上的开孔率和开孔分布、孔径或边长等均应符合设计要求。

　　4.4.6  高架地板支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固可靠。支撑立杆下部的连接金属构件应符合设计要求，固定螺栓的外露丝扣不得少于3扣。

　　4.4.9  高架地板安装后行走应无摆动、无声响，牢固性应好。高架地板面层应平整、清洁，板块接缝应横平竖直。

　　4.4.10  高架地板边角位置板块的安装应根据实际情况进行切割后镶补，并应设可调支撑和横杆，切割边与墙体交接处应用柔软的不产尘材料填缝。

　　4.5.2  吊顶工程的检验批应按洁净室(区)面积500m2划分为一个检验批，不足500m2也应划分为一个检验批。

　　4.5.3  安装龙骨前，应按设计要求对房间净高、洞口标高和吊顶内管道、设备及其他支架的标高等办理工序交接手续。

　　4.5.4  吊顶工程中的预埋件、钢筋吊杆和型钢吊杆应进行防锈或防腐处理;当吊顶上部作为静压箱时，预埋件与楼板或墙体的衔接处均应进行密封处理。支、吊架应采取防尘处理。

　　4.5.6  吊顶的固定和吊挂件应与主体结构相连;不得与设备支架和管线支架连接;吊顶的吊挂件不得用作管线支、吊架或设备的支、吊架。

　　4.5.7  空气过滤器、灯具、烟感探测器、扬声器和各类管线穿吊顶处的洞口周围应平整、严密、清洁，并应用不燃材料封堵。隐蔽工程的检修口周边应采用密封垫密封。

　　4.5.8  吊顶的标高、尺寸、起拱、板间缝隙应符合设计要求。板间缝隙应一致，每条板间缝隙误差不得大于0.5mm;并应以密封胶均匀密封，同时应做到平整、光滑、略低于板面，不得有间断和杂质。

　　4.5.12  吊杆、龙骨的材质、规格及连接方式应符合设计要求。金属吊杆、龙骨应进行表面防腐处理。

　　4.5.13  吊顶饰面表面应清洁、光滑、色泽一致，不得有翘曲、裂纹和缺损;并不得发生霉变，不应产尘。

　　4.6.1  本节适用于洁净室(区)内板材隔墙、复合轻质墙板、金属夹芯板等墙体工程的施工和验收。

　　4.6.4  墙体工程的检验批应按洁净室(区)面积500m2划分为一个检验批，不足500m2时也应划分为一个检验批。

　　4.6.6  金属壁板安装前应按施工图进行放线。墙角应垂直交接，壁板垂直度偏差不得大于0.15%。

　　4.6.7  墙体面板接缝间隙应一致，每条面板缝间隙误差不得大于0.5mm，并应在正压面以密封胶均匀密封，密封胶应平整、光滑，并应略低于板面，不得有间断、杂质。

　　4.6.8  墙体面板上的电气接线盒、控制面板和管线穿越处的各种洞口应位置正确、边缘整齐、严密、清洁、不产尘，并应以不燃材料封堵。

　　4.6.10  隔墙板材安装应牢固，预埋件、连接件的位置、数量、规格、连接方法和防静电方式应符合设计要求。

　　4.6.11  墙体板材安装应垂直、平整，位置应正确;与吊顶板和相关墙体板的交接处应采取防开裂措施，其接缝应进行密封处理。拐角处宜采用圆角。

　　.7.3  洁净室门窗工程的检验批，应按每50樘为一个检验批，不足50樘也应划分为一个检验批。

　　4.7.4  洁净室门窗的品种、类型、规格、构造、型材厚度、尺寸、安装位置、连接方式和附件、防腐处理以及气密性均应符合设计要求。

　　检验方法：观察检查、尺量，检查产品(材料)合格证书、性能检验报告、进场验收记录和施工验收记录。

　　4.7.5  门窗表面应不发尘、不霉变、不吸附污染物、易清洁和消毒、平整、光滑，门窗上玻璃均应为固定型。

　　4.7.6  门窗边框、副框的安装应牢固，预埋件、连接件的数量、规格、位置、埋设或连接方式等均应符合设计要求。

　　4.7.7  门窗边框与墙体应连接牢固。门窗边框、副框与墙体之间的缝隙应均匀，并不得超过1mm。缝隙应以密封材料填嵌和密封胶密封。

　　4.7.8  洁净室门配件的型号、规格、数量应符合设计要求，并应牢固、表面光滑、不积尘、易清洁和消毒。

　　5.1.1  洁净厂房净化空调系统的施工、验收除应符合本规范的规定外，还应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　5.1.2  净化空调系统施工中使用的材料、附件和设备应符合工程设计图纸的要求，并不得产生或散发对产品生产的正常进行、产品质量和人员健康有害的物质。

　　5.1.3  施工中所使用的材料、附件和设备应具有产品出厂合格证等，进施工现场前应经验收，并应做好产品验收记录。

　　5.1.5  净化空调系统的调试和试运转应在洁净室(区)建筑装饰装修验收合格和各种管线吹扫及试压等工序完成后进行。

　　5.2.1  风管、附件的制作、质量验收还应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243中有关高压风管系统和中压风管系统的规定。

　　5.2.2  风管、附件制作质量的验收应按工程设计图纸与本规范的规定实施。当工程项目选择外购时，应具有产品合格证书和相应的质量检验报告。

　　5.2.3  净化空调系统风管的材质应按工程设计文件的要求选择，工程设计无要求时，宜采用镀锌钢板。当产品生产工艺要求或环境条件必须采用非金属风管时，应采用不燃材料或B1级难燃材料，并应表面光滑、平整、不产尘、不霉变。

　　1  矩形风管边长小于或等于900mm时，底面板不得采用拼接;大于900mm的矩形风管，不得采用横向拼接。

　　2  风管所用的螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应采用与管材性能相适应，且不产生电化学腐蚀的材料;不得采用抽芯铆钉。

　　7  风管法兰的螺栓及铆钉孔的间距，当空气洁净度等级为1级～5级时，不应大于80mm;6级～9级时，不应大于100mm。

　　3  风管制作后，应进行清洗。清洗液应能有效去除污物、油渍等，并不得对健康和材质有危害。

　　4  风管经清洁水二次清洗达到清洁要求后，应及时对风管端部封口，应存放在清洁的房间内，并应避免积尘、受潮和变形。

　　5.2.6  风管清洗后，应以漏光法进行风管制作质量检查。漏光检测除应按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定执行外，还应符合下列规定：

　　2  检测所用的机具、工具应绝缘良好，并应设漏电保护;外表面应清洁干净、无油污、无尘、无破损现象。

　　2  风管的允许漏风量和漏风量测试方法应按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定执行。

　　5.2.9  净化空调系统的各类风阀，其活动件、固定件以及紧固件应采用镀锌或进行其他防腐处理;阀体与外界相通的缝隙处应采取密封措施。

　　1  风管制作质量、允许偏差、焊缝质量和风管连接等的要求应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定;

　　2  风管的咬口缝、法兰翻边不得有裂缝或孔洞，出现微小裂缝或孔洞时，应在密封面的正压侧涂密封胶;

　　4  镀锌钢板风管加工过程中出现镀层损坏或发现、麻点、起皮等缺陷时，应刷防锈涂料2层以上。

　　5.2.11  矩形风管边长大于或等于800mm或管段长度大于或等于1250mm时，应采取风管加固措施，并应符合现行国家标准《通风和空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　5.2.12  净化空调系统应设测试孔和清洁检查门。检查门内表面应平整、光滑，并应启闭灵活、关闭严密，与风管的连接处应采取密封措施，其密封垫料宜采用成型密封胶带或软橡胶条制作。

　　5.3.1  净化空调系统风管的安装，应在其安装部位的地面已施工完成，且室内具有防尘措施的条件下进行。

　　5.3.2  风管系统安装后，应进行系统的严密性试验，并应经验收合格后再进行风管保温等工序。

　　5.3.3  风管系统的支、吊架应与建筑围护结构牢固连接，当采用膨胀螺栓固定时，应符合相应技术文件的规定。支、吊架应进行防腐处理。

　　3  法兰垫片应选用不产尘、不易老化、不透气和具有一定弹性的材料，垫片厚度宜为5mm～8mm。

　　1  严密性试验应按系统分别进行，漏风量应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定;

　　2  净化空调系统风管的严密性试验，高压系统应按高压系统进行检测，工作压力低于1500Pa风管系统应按中压系统检测。检查数量：高压系统全数进行检查，中压系统抽查30%，且不少于1个系统。

　　5.3.7  风管部件、阀门的安装应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　1  风管及其部件的绝热、保温应采用不燃或难燃材料，其材质、密度、规格和厚度应符合工程设计文件要求;

　　3  绝热、保温层的施工、验收应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　5.3.9  风管的连接、安装偏差以及支、吊架的安装等应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　5.3.10  净化空调系统经清洗、密封的风管、附件安装时，打开端口封膜后应即时连接;当必须暂时停顿安装时，应将端口重新密封。

　　5.3.11  风管绝热保温层外表面应平整、密封、无松弛现象。洁净室(区)内的风管有保温要求时，保温层外表面应光滑、不积尘、不吸尘，并应易于擦拭，接缝处应以密封胶密封。

　　5.4.1  净化空调设备应有齐全的随机文件，应包括装箱清单、说明书、产品质量合格证书、性能检测报告和必要的图纸等，进口设备还应有商检文件等。

　　5.4.2  设备安装前，应在建设单位和有关方的参加下进行开箱检查，并应做好开箱或验收记录。

　　4  高效过滤器应已进行外观检查，产品质量应符合设计图纸要求和国家现行标准《空气过滤器分级与标识》CRAA 430的有关规定。框架、滤纸、密封胶等无变形、断裂、破损、脱落等损坏现象。

　　4  采用机械密封时，应采用气密垫密封，其厚度应为6mm～8mm，并应紧贴在过滤器边框上;安装后垫料的压缩应均匀，压缩率应为25%～50%。

　　5  采用液槽密封时，槽架应安装水平，并不得有渗漏现象;槽内应无污物和水分。槽内密封液高度宜为槽深的2/3，密封液的熔点宜高于50℃。

　　4  垂直单向流层流罩的安装，其水平度偏差不得超过0.1%;水平单向流层流罩的安装，其垂直度偏差应为±1mm，高度允许偏差应为±1mm。

　　3  现场组装的组合式空气处理机组安装完毕后应进行漏风量检测，空气洁净度等级1级～5级洁净室(区)所用机组的漏风率不得超过0.6%，6级～9级不得超过1.0%，漏风率的检测方法应符合现行国家标准《组合式空调机组》GB/T 1429的有关规定;

　　检查数量：洁净室(区)空气洁净度1级～5级所用机组全数检查，空气洁净度6级～9级抽查50%。

　　2  电加热器前后800mm的绝热保温层应采用不燃材料，风管与电加热器连接法兰垫片应采用耐热不燃材料;

　　2  安装就位前，应进行外观检查，并应确认外形尺寸、结构部件齐全、无变形、喷头无异常或脱落等;

　　6  应按产品说明书相关要求，进行不少于1.0h的连续试运转。应检查各运动设备、部件和电气连锁性能等。

　　3  真空吸尘系统的弯管半径不得少于管径的4倍，不得采用褶皱弯管;三通的夹角不得大于45°;

　　5.5.2  系统调试所使用的仪器仪表的性能、精度应满足测试要求，并应在标定证书有效使用期内。

　　5.5.6  净化空调系统各种设备的单机试运转应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　5.5.8  非单向流洁净室的送风量测试结果应为设计风量的±5%之内，各风口的风量相对标准偏差不应大于15%。

　　5.5.12  洁净室内的气流流型的测试应确认单向流、非单向流、混合流流型，并应符合设计和性能技术要求。

　　5.5.13  洁净室内的气流方向测试应确认气流方向及其均匀性，并应符合设计和气流流型要求。

　　5.5.14  净化空调系统的控制系统及其检测、监控、调节元器件、附件的实施性调试应做到动作准确、显示正确、运转稳定，控制精度等应符合设计要求。

　　6.1.2  施工中所使用的材料、附件和设备应具有产品出厂合格证书等，进施工现场前应经验收合格，并有质量验收记录。

　　6.1.4  排风系统应按管内排风类型及其介质种类、不同浓度进行管道涂色标志，对可燃、有毒的排风应作特殊标志。管路应标明流向。

　　6.1.5  排风系统的调试和试运转应与洁净厂房内的净化空调系统同步进行，并应按各个独立排风、排风系统分别进行调试和试运转。

　　6.2.1  风管、附件的制作质量应符合设计图纸和本规范的规定。具体工程中选择外购时，应具有产品合格证书和相应的质量检验报告，并应包括强度和气密性试验报告。

　　6.2.2  风管、附件的材质应按工程设计要求选择，工程设计无要求时，应按表6.2.2选用。

　　6.2.3  排风管道采用金属管道时，其材料品种、规格、性能和厚度应符合设计图纸要求，当设计无要求时，镀锌钢板、不锈钢板厚度不得小于表6.2.3的规定。

　　6.2.4  排风管道采用非金属风管时，其材料品种、规格、性能和厚度应符合设计图纸要求;当设计无要求时，非金属风管板材的厚度应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　6.2.6  风管进行内外表面清洁后，应以漏光法进行风管制作质量检查。风管漏光检查宜在夜间进行;应按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定执行。

　　6.2.7  排风风管的强度试验压力应低于工作压力500Pa，但不得低于—1500Pa。接缝处应无开裂。

　　6.2.8  排风系统的风阀、排风罩等部件应按工程设计或产品合格证书进行检查验收，并应符合下列规定：

　　1  防排烟阀、排烟口应符合国家现行有关消防产品标准的规定，并应具有相应的产品合格证明文件;

　　6.2.11  排风风管、风阀、风罩等的制作质量、允许偏差、焊缝或咬口质量、风管连接和风管加固等要求，应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定。

　　6.2.12  排风系统宜设检查孔或观察窗，必要时应设测试取样口。检查孔或观察窗与风管的连接应做到严密，不发生泄漏现象。

　　6.3.1  排风系统风管干管、支干管的安装宜与净化空调系统同步进行;接至排风罩、排风点的支管安装宜在洁净室(区)的围护结构完成后进行，并应采取防尘措施。

　　6.3.3  排风系统全部安装完成后，应分系统进行严密性试验，并应在验收合格后再进行管内清洁和外表面处理。

　　6.3.4  排风风管穿过防火、防爆的墙体、顶棚或楼板时，应设防护套管，其套管钢板厚度不应小于1.6mm。防护套管应事先预埋，并应固定;风管与防护套管之间的间隙应采用不燃隔热材料封堵。

　　6.3.7  风管部件、阀门的安装应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的相关规定。

　　6.3.9  排风风管的安装、风管的连接和支、吊架的安装等应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的相关规定。检查数量：按数量抽查30%。

　　6.3.10  除尘系统的风管及阀门的安装应符合设计要求。风管宜垂直或倾斜敷设，并宜避免水平管敷设;除尘装置吸风管段上阀门宜安装在垂直管段上。

　　6.3.11  输送含有凝结水或其他液体的排风风管宜按大于5%的坡度敷设，并应在最低处设排液装置。

　　6.3.12  接至生产工艺设备的排风管、排风罩应按设计要求进行安装，并应做到位置正确、固定牢固。

　　6.3.13  排风风管穿越屋面或外墙处应做好防水处理，不得有渗水现象。排风系统的风帽应安装牢固。

　　6.4.1  排风处理设备应具有齐全的设备本体和净化材料、附件等的技术文件，应包括产品说明书、质量合格证书、性能检测报告、装箱清单和必需的图纸等，进口设备还应有商检文件等。

　　1  设备的搬运吊装应符合产品说明书的有关要求，并应做好防止设备损伤或处理性能降低的相关保护工作;

　　2  大、中型设备的搬运、吊装前，应根据设备外形尺寸、重量和产品说明书要求、安全生产要求等，制订安全、可行的搬运、吊装方案。

　　6.4.4  设备就位前应对基础进行验收，并应合格后再安装。基础验收时应同时核对包括净化处理材料的设备重量与承载能力的一致性。

　　6.4.5  吸附式废气处理设备的安装应符合下列规定：1  直接安放整体废气处理设备的基础，其表面水平度不应大于0.2%;

　　6  装填、安装完成后应按设计要求进行气密性试验，试验压力宜为500Pa，保压时间应为30min，经检查应无泄漏和异常现象。

　　3  设备、管路组装完毕后，应注水至工作液位，先以工作压力为500Pa的气体进行气密性试验，保压时间应为30min，经检查应无泄漏和异常现象;再以循环泵工作压力进行液体管路强度试验，保压时间应为20min，经检查应无泄漏和异常现象。

　　6.4.9  吸附式废气处理设备的安装还应符合下列规定：1  吸附剂装填方式、吸附剂层高、密实度等应符合设计要求;

　　6.5.1  排风与废气处理系统的试运转和调试应包括设备单机试车、系统联动试运转和调试。调试用仪器、仪表的性能参数、精度应满足测试要求，并应在标定证书有效期内。

　　6.5.3  排风系统的联动试运转和调试应达到工程设计的风量、风压等性能参数，稳定连续试运转时间不应少于4.0h。

　　6.5.4  排风系统调试前，施工方应编制试运转和调试方案。调试结束后，应提供完整的调试资料和报告。

　　6.5.5  设备单机试运转和调试应符合下列规定：1  通风机、水泵的试运转要求应按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的有关规定执行;

　　2  废气处理设备的试运转和调试应按工程设计或设备技术文件要求进行，其稳定连续试运转时间不应少于2.0h;

　　6.5.7  防排烟系统联合试运转与调试应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的规定。

　　6.5.8  排风与废气处理系统试运转和调试的初始压力降、噪声不应超过工程设计和产品说明书要求。检查数量：全数检查。

　　2  各排风系统的风量应进行平衡调整，各风口或风罩的风量与设计风量的允许偏差不应大于10%;

　　7.1.1  本章适用于洁净厂房内设计压力不大于1MPa，设计温度不超过材料允许使用温度的碳钢管道、不锈钢管道、工程塑料管道等配管工程的施工安装质量验收。7.1.2  管道的施工安装应符合下列规定：

　　3  配管工程使用的材料、附件、设备等应已检验合格，并应有相应的产品出厂合格证书等。规格、型号及性能等应符合设计要求。

　　4  管子、管件、阀门等内部应已清理于净，并应无杂物。对管子内表面有特殊要求的管道，其质量应符合设计文件要求，安装前应已进行处理，并应经检验合格。

　　7.1.3  阀门安装前，应对下列管道的阀门逐个进行压力试验和严密性试验，不合格者不得使用：

　　7.1.4  除本规范第7.1.3条规定范围外的各类流体管道的阀门安装前，应从每批中抽查20%，且不得少于2个进行壳体压力试验和严密性试验。当不合格时，应加倍抽查，仍不合格时，该批阀门不得使用。

　　2  管道穿越墙体、吊顶、楼板时应设置套管，套管与管道之间的间隙应采用不易产尘的不燃材料密封填实;

　　7.1.6  安装于洁净室(区)的管道，支、吊架材料应采用不易生锈、产尘的材料，外表面应光滑、易于清洁。

　　7.1.7  配管上的阀门、法兰、焊缝和各种连接件的设置应便于检修，并不得紧贴墙体、吊顶、地面、楼板或管架。对易燃、易爆、有毒、有害流体管道、高纯介质管道和有特殊要求管道的阀门、连接件，应按设计图纸设置。

　　7.1.8  有静电接地要求的管道，各段管子间应导电，当管道法兰或螺纹连接处电阻值超过0.03Ω时，应设导线跨接。管道系统的对地电阻值超过100Ω时，应设两处接地引线  碳素钢管道安装

　　7.2.1  管道预制宜按工程设计图、管道系统单线图进行，并应现场实测核对后加工。自由管段和封闭管段的加工允许偏差应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定。

　　7.2.2  预制完毕的管段应按输送物料种类、设计图纸要求将管内、外清理干净，并应及时进行管口包覆。

　　7.2.3  管子切割，管子公称直径小于或等于100mm时，应采用机械或气割切割;公称直径大于100mm时，应采用气割切割。

　　切口表面应平整，无裂纹、毛刺、凸凹、熔渣、氧化物等，切口端面倾斜偏差不应大于管子外径的1.0%，且不得超过2mm。检查数量：按数量抽查不得少于20%，且不得少于一个系统。

　　7.2.4  弯管制作、管道安装的焊缝位置和坡口应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的相关规定

　　2  连接法兰应与管道同心，并应保证螺丝自由穿入。法兰对接应保持平行，其偏差不得大于法兰外径的1.5%，且不得大于2mm。

　　3  管道连接时，不得采用强力对口、加偏垫、加多层垫等方法来消除接口端面的空隙、偏斜、错口或不同心等缺陷。

　　7.2.6  碳素钢管的连接应符合设计要求。设计无要求时，无缝钢管应采用焊接;镀锌钢管管径小于或等于100mm时，宜采用丝扣连接，管径大于100mm时宜采用法兰或卡箍钩槽连接。

　　2  软垫片的周边应整齐、清洁，其尺寸应与法兰密封面相符，软垫片尺寸允许偏差应符合表7.2.7的要求。

　　3  水平管道平直度的允许偏差，对公称直径小于或等于100mm时，应小于有效管长的0.2%，最大不应超过50mm;公称直径大于100mm时，应小于有效管长的0.3%，最大不应超过80mm。

　　5  共架敷设管道时，管道间距的允许偏差应小于10mm;交叉管道的外壁或保温层间距的允许偏差应小于15mm。

　　7.2.9  管道系统的阀门、补偿器和支吊架的安装，应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的相关规定。

　　7.3.2  管材切割宜采用机械割管刀或不锈钢带锯或等离子法进行切割。切口表面应平整、光洁，端面倾斜偏差不应大于管子外径的5%，且不得超过1mm。

　　1  焊缝位置、坡口加工应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定;

　　2  不锈钢管的焊接应采用手工氩弧焊，焊接时管道内应充氩气进行管内保护，焊接接头应为全焊透结构;

　　3  管子或管件、阀门组对时，应做到内壁平齐，对口错边量不得超过壁厚的10%，且不应大于2mm;

　　7.3.4  不锈钢管道采用法兰连接时，法兰紧固螺栓应采用不锈钢材质;法兰垫片宜采用金属垫片或氯离子含量不超过50×10-6的非金属垫片。

　　7.3.5  不锈钢管不得直接与碳素钢支架、管卡接触，应以塑料或橡胶垫片隔离，或采用氯离子含量不超过50×10-6的非金属垫片。法兰螺栓应采用不锈钢材质，垫片应采用氯离子含量不超过50×10-6的非金属垫片。

　　7.3.6  管材、管件、阀门内、外表面不得有明显划痕或锈斑，其规格、型号和性能应符合设计文件的规定。

　　7.3.7  管道分支宜采用三通连接，干管与支管相差2个管径及以上时，可采用等离子切割机或专用机械开口。采用等离子切割机开口时，应有避免或减少高温碎渣飞溅至管内的措施。

　　7.4.1  BA/EP不锈钢管的预制、安装作业应在洁净工作小室内进行，作业人员应经培训合格后上岗，作业时应着洁净工作服、手套。

　　7.4.2  管子、管件和阀门在预制、安装前、后或停顿工作时，应以洁净塑料袋封口;一旦发现封口袋破损时，应及时检查、处理。

　　7.4.3  管子切割，直径等于或小于10mm时，宜采用割管器;直径大于10mm时，宜采用专用电锯。应以纯度为99.999%的纯氩吹净管内切口的杂物、灰尘，并应去除油污。

　　1  BA/EP管焊接应采用自动焊，焊接时管内应充纯度为99.999%的纯氨气。焊接结束应继续充纯氩吹扫、冷却。

　　7.4.5  管材、管件、阀门组对时，应做到内、外壁平整，对口错边不得超过壁厚的10%，且不得大于0.2mm。

　　7.4.6  BA/EP管道的点焊应采用手工氩弧焊。点焊前应将管段固定，并应检查对口合格后，充纯氩保护。点焊后应继续采用纯氩冷却、吹扫。

　　7.4.7  BA/EP管及管件、阀门的内、外表面应无尘、无油，表面应平整，且不得有破损、氧化现象。

　　7.4.8  每焊接完成一个焊口，应采用不锈钢利及时清除表面氧化层。焊缝形态应均匀，不得有未焊透、未融合、气孔、咬边等缺陷。

　　7.4.9  BA/EP管道连接用垫片的材质应符合设计要求或由设备、附件配带，安装前应确认垫片洁净无油、无污染物。

　　7.4.10  BA/EP管道安装应按工程设计图顺气流方向依次进行，并应连续充纯氩吹扫、保护，管内纯氩压力应大于0.15MPa，并应直至管路系统安装结束。

　　7.5.2  施工中所采用的管材、附件、焊接材料等应已验收合格，并应符合设计要求，同时应做好检查记录。

　　7.5.4  管道焊接的热熔接机应根据管道直径采用相应型号、规格的焊机，焊接操作中应保持焊机、加热板的清洁、无尘。

　　7.5.5  管子切割宜采用专用割刀。切口端面倾斜偏差不得大于管子外径的0.5%，且不得超过1mm。

　　.5.7  管子热熔焊缝不得低于管子表面，宜高于管子表面2mm～3mm;焊缝不得出现缺陷接口，焊缝宽度不得超过规定平均宽度的20%。

　　7.5.8  管子焊接切口表面应平整、刺;焊缝卷边应一致、美观，并应无污物，焊接接口应平滑、清洁。

　　7.5.9  管子热熔焊时的切换时间应根据管子尺寸确定，管外径小于或等于250mm时，宜小于8s;管外径大于250mm时，不宜超过12s。

　　7.5.10  管子热熔焊时的加热温度应根据材质、管壁厚度等确定，PE管宜为200℃～230℃，PP管宜为195℃～205℃。

　　1  用于承内压的管道应进行压力试验，其试验压力应为工作压力的1.5倍，经检查以不泄漏、无异常应为合格;有严密性要求时，还应降至工作压力，保压30min，经检查不泄漏、无异常应为合格;

　　2  用于热流体输送时，还应进行热循环试验，以工作介质在工作温度及低于工作温度下进行温度变化的试验，应以不泄漏、无异常为合格;

　　7.6.3  焊接加工应在洁净工作小室内进行，加工完后应在现场组装。安装施工所用机具、工具应做到无尘、无油污。

　　7.6.4  PVDF管道施工作业人员应经培训合格后上岗，在作业过程应着规定的工作服或洁净服。

　　7.6.5  管道焊接应采用自动或半自动热焊机，并应按管壁厚等选用焊接设备型号、规格及配带的机具、工具。

　　7.6.6  管材、附件应密封包装，在未进行焊接加工或现场组装时，不得拆除外包装。管材、附件应平整地堆放在防雨、防晒的环境内。

　　检查数量：除管材按规格尺寸抽查10%外，其余全数检查。检验方法：观察检查，尺量和核查验收记录。

　　7.6.10  管子热焊接的焊缝应为均匀的双重焊道，双重焊道谷底应高出管子外表面，宜为管子壁厚的10%;双重焊道宽度应按管子壁厚确定，不得小于2mm。

　　1  以1.5倍设计压力进行强度试验，试验介质为纯水或纯度为99.999%的高纯氮气，试验时间应为3.0h，应以不泄漏、不降压为合格;

　　2  以设计压力的1.15倍进行严密性试验，试验介质为纯水或纯度为99.999%的高纯氮气，试验时间应为4.0h，应以无泄漏、压力降小于3%为合格。

　　7.6.12  管子热焊时的熔融时间应根据管子尺寸确定，管径为13mm～100mm时，宜为6s～30s。

　　7.7.2  施工中采用的管材、附件应为同一厂家产品，并应符合工程设计要求;粘接所使用的胶粘接剂宜配套供应，并应做好施工现场验收记录。

　　1  管道粘接作业场所应保持较低湿度，环境温度应高于5℃。2  粘接前，管材、附件的承、插口表面应做到无尘、无油污、无水迹;管子端面应做坡口，其坡口高度应为2mm～3mm，并应四周均匀。

　　7.7.6  管材的内外表面应光滑，并应无气泡、裂纹，管壁厚度应均匀，色泽应一致。直管段挠度不得大于1%。管件造型应规矩、光滑、刺。承口应有锥度，并应与插口配套。

　　1  压力试验宜用清洁水，试验压力为1.5倍管内设计压力，应保压30min不泄漏、无异常为合格;当输送介质不允许使用水进行试验时，宜采用纯度为99.99%以上的纯氮气进行压力试验，但应按规定采取防护措施，应保压10min不泄漏、无异常为合格。

　　2  严密性试验是在压力试验合格后，将压力降至1.1倍设计压力，应保压1.0h无压力降为合格。

　　7.8.1  配管工程的检验和试验应在自检合格的基础上进行，并应按管道系统、检验批或分项工程的程序进行检验和试验，同时应做好记录。

　　2  输送压力大于或等于0.5MPa的可燃流体、有毒流体管道的焊缝，应抽样进行射线照相检验，抽检比例不得低于管道焊缝的10%，其质量不得低于Ⅲ级。工程设计文件有抽检比例和质量规定时，应符合设计文件要求。

　　3  射线照相检验方法和质量分级标准应符合现行国家标准《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》GB 50236的相关规定。

　　1  压力试验应以水为试验介质。当管道的设计压力小于或等于0.8MPa时，也可采用气体为试验介质，但应采取安全措施。

　　4  压力试验的试验压力、试验方法等应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的相关规定。

　　7.8.4  洁净厂房中输送剧毒液体、有毒液体，可燃液体和高纯气体的管道系统应进行泄漏量试验，泄漏量试验应符合下列规定：

　　1  泄漏量试验应在压力试验合格后进行，试验介质宜采用空气或氮气或氦气。对输送高纯气体的管道的泄漏量试验介质，宜采用纯度大于99.999%的氮气或氦气。

　　2  压力试验合格后，真空管道应按设计文件规定进行24h的真空度试验，其增压率不得大于5%。

　　7.8.6  管道在进行试验、检验合格后，应根据设计要求对管路进行吹扫和清洗，管道的吹扫和清洗应符合设计要求，当设计无要求时，可按现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定执行。

　　8.1.2  消防、安全设施的安装施工应符合下列规定：1  相关的土建工程应已施工验收合格，并应办理交接手续;

　　3  安装前，应认真核查消防、安全产品制造单位的资质、制造许可证的真实性，并应符合相关规定，同时应做好检查记录;

　　8.2  管线  洁净厂房中的消防给水管道应安装在技术夹层内，接至洁净室(区)的立管位置应符合工程设计文件要求或与工艺设备布置、土建构造协调后确定。其外露部分应以装饰板包裹，表面应平整、光滑。

　　8.2.3  穿越洁净室(区)的墙体、顶棚的消防给水管、自动喷水系统的喷头短管等处，应以防火填料进行密封处理。

　　检验方法：观察检查。8.2.4  洁净室(区)采用高灵敏度早期报警装置的采样管道的安装应符合下列规定：

　　4  安装前，应对所有设备、材料进行现场检查、检验，均应符合工程设计文件和合约的要求，并应进行记录。

　　8.2.5  消防、安全设施的各类火灾报警装置、气体报警装置、广播通信设施及其控制系统的电气线路的施工安装应符合下列规定：

　　1  试验、试运转应在洁净室(区)内各专业施工安装完成，并应已进行彻底的清洁、空吹达到规定的要求后进行;

　　2  当消火栓安装确需穿透时，所有接缝均应采用气密构造;3  消火栓外露表面应平整、光滑，安装后应擦拭洁净;

　　9.1.1  电气装置的施工安装应符合下列规定：1  电气装置安装工程相关的土建工程等应已验收合格，并应办理相关交接手续;

　　2  施工安装应按工程设计文件进行;3  所需的各种材料、线缆、配电盘(柜)、灯具、开关等应已检验合格，并应有相应的产品出厂合格证明和检验记录等，型号、规格和性能等均应符合工程设计的要求。

　　9.1.2  洁净室(区)内的电气装置和线管、线槽、桥架等宜采用暗装，并宜以装饰板进行防护，其外表面应平整、光滑，并应不产尘、积尘，易清洁。

　　1  应提交变更设计的证明文件，安装过程记录，隐蔽工程记录，测试记录，设备及照明的试运行记录和设备、材料的合格证明及进场检验记录等的资料、文件;

　　9.2.2  电线管、电缆管、线槽、桥架的接地装置的施工及验收应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的有关规定。

　　9.2.3  电气线路的线管、线槽、桥架穿越洁净室(区)的墙体、顶棚时，应采用气密构造，其接缝均应进行密封处理。

　　9.2.4  安装在洁净室(区)装饰板内的电线、电缆宜采用穿管敷设，穿越装饰板处应进行密封处理。检查数量：按室(区)分别抽查30%，且不得少于3处。

　　9.2.6  电气配线采用三相五线制或单相三线制时，其绝缘导线的绝缘层颜色应采用不同颜色进行区分，不得采用相同颜色的绝缘层。

　　9.2.7  洁净室(区)内的配电盘(柜)、接线盒的配线施工安装时，应留有满足再次接线、调线的余量。

　　9.3.2  电气设备的安装还应符合现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的有关规定。

　　9.3.3  洁净室(区)内配电盘(柜)、接线盒、插座箱和照明灯具等电气设备，内、外表面应平整、光滑、不积尘、易清洁，安装后应进行擦拭，并应无积尘。

　　9.3.7  洁净室(区)内的配电盘(柜)内的配线应做到横平竖直、色别正确、标志齐全、连接可靠。

　　9.3.8  洁净室(区)内的接线盒、插座箱的安装应端正，并应符合设计要求，设计无要求时，安装高度宜为1.0m～1.2m。

　　9.4.3  接地设施的安装还应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的有关规定。

　　4  垂直接地体之间的距离不宜小于2倍接地体长度，水平接地体之间的距离不宜小于5m。检查数量：全数检查。

　　1  在洁净室(区)内明敷的接地线与建筑墙体、顶棚之间的间隙宜为10mm～15mm，与地面之间的距离宜为250mm～300mm;

　　10.1.1  微振控制设施应与洁净厂房主体结构、动力公用工程、净化空调系统、排风系统等相关设施同步施工安装。

　　10.1.2  微振控制设施的施工应根据具体工程项目特点，并按微振控制设施的设计、测试和建造程序进行。

　　10.2.3  隔振装置施工安装时，应核对空气弹簧隔振器、阻尼器、限位器、高度调节器，以及配管、底座的规格、数量、尺寸，并应符合设计要求。

　　10.2.4  安装隔振器的地面、台板等应平整、清洁;各组(个)隔振器承受荷载的压缩量应均匀，高度误差应小于2.0mm。

　　10.2.6  隔振台的台板表面应平整、清洁，台板水平度误差应符合设计要求，且不宜大于3‰。

　　10.2.7  隔振所用的支、吊架，其结构形式、尺寸应符合设计文件的要求，焊接应牢固，焊缝应饱满、均匀。

　　10.2.8  地板或楼板整体式隔振系统，支承结构、地板或楼板应平整、清洁，水平度误差应符合设计要求。

　　1  应按工程设计文件和设备、材料技术说明书进行安装;2  各种设备及其附件、材料均应已进行现场检查、检验，且应符合工程设计文件或合约要求，并应进行记录。

　　11.2.1  消声器、隔声罩等噪声控制设备安装前，应按工程设计文件和产品说明书的规定，检查其完整性、严密性、规格尺寸等，并应做好记录。

　　1  安装位置、方向应正确，与风管或配管的连接应严密，不得有损坏与受潮;两组同类型的消声器不应直接串联;2  现场安装的组合式消声器，其组件的排列、方向和位置应符合设计要求，单个消声器组件应可靠固定，消声器应设独立支吊架。

　　12.1.1  本章适用于洁净厂房内的高纯气体供应设施、纯水供应设施、工艺生产用水设施、化学品供应设施的安装施工质量验收。

　　1  相关的土建工程应已验收合格，并应办理交接手续;2  应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明要求进行安装;

　　3  各种设备及其附件、材料应已进行现场检查、检验，并应符合工程设计和设备技术要求，同时应做好进场记录。12.1.3  对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附件等，安装前应检查密封状况，发现异常时，应与供货商共同检查，并应经确认不影响使用功能后再进行安装。

　　12.1.4  特种设施的承压设备、附件应具有压力试验、无损探伤等有效检验合格文件。无合格文件者，不得进行安装。

　　12.1.5  有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关的设备、附件应具有有效检验的合格文件，不符合规定者不得进行安装。

　　12.2.1  高纯气体、特种气体管道及其阀门、附件等的材质应符合工程设计文件的要求。采用低碳不锈钢管时，其安装施工应符合本规范第7.4节的规定。

　　12.2.3  高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求，检查设备及填充的纯化材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做检查记录。

　　1  搬入洁净室(区)前应进行清洁，符合要求后应从规定的设备搬入口运入;2  整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并应可靠固定;

　　3  设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，做好接管、接线  就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接;

　　2  安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线  气体管道接口应在所在系统试运转合格后再连接。

　　3  测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处。

　　4  纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h;气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析。

　　1  高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力均应按工程设计文件要求执行。

　　2  试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮气或纯氦气;试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，应保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝，应以不漏为合格。

　　3  气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统应以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5%为合格。采用氦气为试验气体时，系统应以设计压力保持1h，检查泄漏率不应超过0.5%为合格。不合格时，应检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止。

　　2  管路系统应采用0.3MPa～0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.3μm的气体过滤器去除微粒;对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫。

　　3  在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，应以靶上未见微粒为合格;对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1%为合格。

　　12.3.1  纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求检查、核对设备及填充的材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做好检查、核对记录。

　　12.3.4  洁净室(区)内纯水末端处理设备的安装应符合下列规定：1  设备搬运、就位应符合本规范第12.3.3条的要求;

　　2  应根据使用特点和工程设计文件要求选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤;

　　3  系统安装完成后，应按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。

　　1  管道系统的试验应按工程设计文件要求进行水压试验，其试验方法应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定;

　　5  纯水水质试验，应以本系统同样水质的纯水进行试验，水质分析采样口应为水质要求最严格且距离最长的用户末端处：取样时间间隔应为2h～4h，应以系统的始端、末端的水质相同为合格。

　　2  清洗时，应关断所有接至单体设备的阀门，管道系统的过滤器滤芯应卸下，并应待清洗合格后原样恢复。

　　12.4.1  本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。

　　12.4.2  化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并应做检查记录。

　　12.4.3  化学品供应设施中的各类泵的安装施工，应符合现行国家标准《风机、压缩机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的有关规定。

　　2  就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线  各种管道的连接应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。

　　3  就位前，应检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不应大于2%，标高偏差不应大于2mm;

　　12.4.7  化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工应符合本规范第7章的有关规定。

　　2  吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力应为0.2MPa～0.3MPa，吹扫管道应设置过滤精度严于0.3μm的过滤器。

　　3  吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门;管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，并应待吹扫后按原样恢复。

　　4  各系统的吹扫应反复多次进行，吹扫时间不宜少于2.0h，并应以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，应继续吹扫，直至合格。

　　1  管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法可按现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定执行。

　　3  承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力应为设计压力的1.5倍，严密性试验的试验压力应为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验。

　　13.1.1  本章适用于与洁净厂房施工验收相关的生产工艺设备安装和验收，但不应包括生产工艺设备自身的施工安装和验收要求。

　　13.1.2  洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外，宜在洁净室(区)空态验收合格后进行安装。

　　13.1.3  设备的搬运、安装过程不得有超范围的振动、倾斜，不得划伤及污染设备表面，设备搬入洁净室(区)前应清洁、无尘。

　　1  安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工作，且现场应有便捷电源供应;2  大型、特殊要求的生产设备，应按设计要求在净化空调系统安装前就位，可按本规范附录A进行;

　　3  洁净室(包括风淋室)应已启用，并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。13.2.2  洁净室(区)内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定：

　　5  用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分、品种、出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。

　　13.2.3  洁净室(区)使用的机具不得搬至非洁净室(区)使用，非洁净室(区)使用机具不得搬至洁净室(区)使用，洁净区使用机具应符合下列规定：

　　2  常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理，应达到无油、无垢、无尘、无锈的要求，并应经检查合格贴上“洁净”或“洁净区专用”标识后搬入。

　　3  安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力。

　　1  开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板、吊顶板表面，活动地板开口后不能及时安装基础时，应设安全护栏并设危险标识;

　　2  生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理，并应做到设备与密封组件为柔性接触;密封组件与壁板的连接应紧密、牢固;工作间一侧的密封面应平整、光滑。

　　1  对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断，应在设备搬入后再恢复到原有状态;

　　4  当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施，并应采用不产尘的材料。

　　13.2.8  洁净室(区)内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车或气垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1m/s。

　　2  在活动地板上吊装设备时，应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时，应对活动地板进行加固;

　　3  设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒，直至吸尽孔内积存的尘粒。

　　13.3  二次配管配线  生产设备应在找正、调平并经检验合格后，再进行设备所需水、电、气、排风等二次配管配线施工。工艺设备二次配管配线章的规定外，还应符合下列规定：

　　1  二次配管配线的主材应与生产工艺设备一致，各种垫料、填料等辅材应与相关配管配线的工程设计一致，并应采用密封性能好且不产尘的材料。

　　2  二次配管预制作业应在专设的防尘、防静电的洁净工作小室内进行，加工件应经洁净处理后密封搬入洁净室(区)内。

　　3  碳钢支、吊架应采用镀锌材料，切割端面亦应做防锈处理，安装应牢固可靠;不锈钢管与碳钢支架、管卡之间应分别设隔离垫和隔离套管，隔离垫宜用软质聚四氟乙烯板，套管宜用聚乙烯软管。

　　4  上技术夹层引下的管线，宜从增设在生产工艺设备附近的管线柱内敷设。管线柱高度宜高于房间吊顶，柱壁可采用装饰用不锈钢管或用型钢作框架，框架外贴装饰应用不锈钢面板;柱壁上可安装电气插座、开关箱及阀门等。

　　13.3.2  二次配管配线的施工安装应避免在洁净室(区)内进行锯、锉、钻、凿等作业，个别情况不可避免时，应在产尘处采用真空吸尘接口或吸尘器不间断地吸除尘粒。

　　13.3.3  二次配管完成后，不宜进行冲洗或吹洗、严密性试验。若需要时，应根据生产设备和厂房内配管连接状况制订安全技术措施，并应经批准后再实施。

　　14.1.1  洁净厂房工程施工完成后应进行验收，验收宜划分为竣工验收、性能验收、使用验收。

　　14.1.5  洁净厂房验收的检测状态应分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行，性能验收阶段宜在空态或静态下进行，使用验收阶段的检测应在动态下进行。

　　14.2.1  洁净厂房的验收中，在进行各项性能检测前，净化空调系统应正常运行24h以上，并应达到稳定运行状态。14.2.2  检测用仪器仪表均应进行标定，并应在标定有效期内。

　　14.2.3  洁净厂房测试应按验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测应确认各项设施符合工程设计和合同的要求;性能验收阶段的检测应确认各项设施均能有效、可靠地运行;使用验收阶段的检测应按产品生产工艺和“动态”活动要求，确认各项设施有效、可靠地运行。14.2.4  洁净厂房性能测试项目应符合表14.2.4的要求。具体工程项目的性能测试清单、测试顺序等应按本规范附录B执行。

　　14.2.5  空气洁净度等级的检测应对粒径分布在0.1μm至5.0μm之间的悬浮粒子的粒径和浓度进行测试，空气洁净度等级应符合设计和建设方的要求。对于超微粒子、宏粒子的测试结果，应根据业主或设计要求确定。

　　14.2.7  风量和风速的测试，对单向流洁净室的送风量应以测试的平均送风速度乘以送风截面积确定;非单向流洁净室的送风量可采用直接测试或测出风口风速乘以出风截面积确定。

　　14.2.8  压差测试，应为检验洁净室(区)与其周围环境之间的规定静压差，应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行静压差测试。

　　14.2.9  对已装空气过滤器应进行检漏;应在安装后的过滤器的上游侧引入测试气溶胶，并应及时在送风口和过滤器周边、外框与安装框架之间的密封处进行扫描检漏。检漏测试可在“空态”或“静态”进行。

　　14.2.11  应在相关的净化空调系统连续、稳定运行后再进行洁净室(区)的温度、相对湿度检测，并应达到设计要求。

　　14.2.13  洁净室(区)内的噪声测试，应在“空态”或与建设单位协商的状态下进行检测，室内噪声应达到标准规定值。

　　14.2.14  洁净室(区)的照度测试，应在室内温度稳定和光源光稳定状态下进行，室内照度值应达到设计要求。

　　14.2.16  当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时，应对微振控制设施的建造质量进行检测，并应达到设计要求。

　　14.2.17  洁净室(区)的地面、墙面和工作台面的表面导静电性能，应根据生产工艺要求进行检测，并应达到标准规定或设计要求。

　　14.3.1  洁净厂房的竣工验收，应在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收应包括对各分部工程的单机试车、无生产负荷系统试车的核查、洁净室(区)性能参数检测和调试、各分部观感质量核查。

　　检查数量：各分部按系统抽查20%，且不得少于1个系统;各类设备、部件、仪表和阀门等按数量抽查20%，且不得少于1台或10件。

　　14.3.5  各分部工程的各类系统的单机试车核查合格后，应进行无生产负荷的稳定运行核查，并应符合本规范第5章～第12章的相关规定。

　　14.3.7  洁净厂房竣工验收后，应由施工方编写竣工验收报告，除应包括本规范第14.3.2条的内容外，还应包括下列内容：

　　14.4.1  洁净厂房的性能验收应经过规定的检测和调试，确认洁净室(区)性能参数均应满足产品生产运行的要求。

　　14.4.2  洁净厂房竣工验收合格，并经核实批准后，应按设计要求进行性能验收，性能验收的主要测试内容应包括下列测试：

　　14.5.1  洁净厂房的使用验收应在设计规定的使用状态下进行检测和调试，确认洁净室(区)的动态性能参数均应有效满足使用要求。

　　A.0.1  洁净厂房的施工安装内容主要应包括建筑装饰、净化空调系统、各动力公用和安全设施以及各种配管配线等;洁净厂房的施工安装应根据具体工程特点、使用功能确定，还应安排好相关生产工艺设备的安装和二次配管配线  洁净厂房的施工安装程序中，应根据具体工程情况、复杂程度等因素确定，必要时应进行二次洁净室装饰设计或二次配管配线  洁净厂房施工安装时，各专业、多工种应密切配合，应按具体工程实际情况，制订施工安装程序和计划进度，应循序渐进地完成洁净厂房的施工建造。洁净厂房的主要施工程序见图A.0.3。

　　B.0.1  性能测试项目和顺序的选择，应根据具体工程的规模、空气洁净度等级、产品生产工艺要求及布置情况、净化空调系统等因素确定，并应填写表B.0.1。

　　C.1.1  空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器，采样量应大于1L/min。测试粒径大于或等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器;测试粒径大于或等于0.1μm的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器，采样量应为28.3L/min;测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。

　　2  每个采样点的采样量应至少为2L，采样时间应最少为1min，当洁净室(区)仅有1个采样点时，在该点应至少采样3次。当VS很大时，采样时间较长，宜采用顺序采样法。

　　C.1.4  对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。

　　C.1.5  室内测试人员应穿洁净服，不得超过3人，测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作应轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。

　　C.1.7  采样点为1个时，应按本规范式(C.1.6)计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时，应按本规范式(C.1.6)计算各点的平均浓度后，再按下式计算洁净室(区)总平均值：

　　2  采样点为1个以上10个以下时，除应根据本规范式(C.1.7)计算各采样点的平均值和总平均值外，还应按下式计算总平均值的标准偏差：

　　4  每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时，可认为该洁净室(区)已达到规定的空气洁净度等级。

　　测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时，宜增加均匀分布的新采样点进行测试，应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算，其结果可作为最终检验结果。

　　C.2.1  风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等，风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。

　　1  对单向流设施的风速测试，应将测试平面垂直于送风气流，该测试平面距离高效空气过滤器出风面应为150mm～300mm，宜采用300mm。应将测试平面分成若干面积相等的栅格，栅格数量不应少于测试截面面积(m2)10倍的平方根，测点应在每个栅格的中心，全部测点不应少于4点。

　　直接测量过滤器面风速时，测点距离过滤器出风面应为150mm。应将测试面划分为面积相等的栅格，每个栅格尺寸宜为600mm×600mm或更小，测点在每个栅格的中心。

　　2  对单向流设施的风速分布测试，应选取工作面高度为测试平面，平面上划分的栅格数量不应少于测试截面面积(m2)的平方根，测点应在每个栅格的中心。

　　3  风速分布测试宜于空态测试，当安装好工艺设备和工作台时，在其附近测得的数据可不反映洁净室本身的特点。若需测试时，风速分布测试要求应由建设方、测试方协商确定。

　　1  在每个测点的持续测试时间应至少为10s。每个空气过滤器或送风散流器的风速、风量测试，可按本规范第C.2.2条第1款中面风速及风量的测试和计算方法。

　　2  高效空气过滤器或散流器风口上风侧有较长的支风管段，且已有预留孔时，宜采用风管法测试风量，测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长和局部阻力部件后5倍管径或长边长的部位。

　　矩形风管的测试断面应划分为若干个相等的小截面，每个小截面宜为正方形，边长不应大于200mm，测点位于小截面中心，但测点数不应少于3点;圆形风管的测试断面，应根据管径大小划分为若干个面积相同的同心圆环，每个圆环测4点，圆环数不宜少于3个。

　　3  风罩法测试风量，使用带有流量计的风罩测量空气过滤器的送风量时，风罩的开口应全部罩住空气过滤器或散流器，风罩面应固定在平整的平面上，并应避免空气泄漏造成读数不准确。

　　在高效空气过滤器或散流器风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时，应利用该流量计直接测量风量。

　　C.3.3  静压差测试时应关闭洁净区内所有的门，并应从洁净区最里面的房间开始向外依次检测。检测时应注意使测试管的管口不受气流影响。

　　C.4.1  对已安装的高效空气过滤器应进行检漏，应检测高效空气过滤器送风口的整个面、过滤器的周边、过滤器外框和安装框架之间的密封处。检漏时，应从过滤器的上风侧引入测试气溶胶，并应立即在其下风侧进行检测。该项测试宜在洁净室(区)的“空态”或“静态”进行。

　　C.4.2  高效空气过滤器安装后的检漏方法应采用光度计法和粒子计数器法。光度计法宜用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统，可达到规定的高浓度测试气溶胶;应采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏。

　　C.4.3  采用光度计法进行扫描检漏时，被测试的过滤器的最高穿透粒径的穿透率应等于或大于0.005%。所采用的测试气溶胶不应影响洁净室(区)内的产品或工艺设施。

　　在进行光度计法检漏前，被测试过滤器应在额定风速的80%～120%运行，并应确认其送风的均匀性。

　　被测试过滤器的上风向引入的气溶胶的浓度应为10mg/m3～100mg/m3。浓度低于20mg/m3时，可降低检漏的灵敏度，而浓度高于80mg/m3时，长时间测试可造成过滤器的污堵。在过滤器检漏前应确认气溶胶的浓度和均匀性。

　　检漏扫描时，若采用3cm×3cm方形探管，扫描速度不得超过5cm/s，矩形探管的最大面积扫描率不得超过15cm2/s。在扫描过程中，显示有等于或大于限值的泄漏时，应将探管停留在泄漏处。高效空气过滤器的泄漏值应以不超过上风向测试气溶胶浓度的10-4为合格。

　　C.4.4  采用粒子计数器法进行扫描检漏时，被测试的空气过滤器最易穿透粒径的穿透率应大于或等于0.00005%。不应允许采用可能沉积在过滤器或管道上的挥发性油光尘的测试用气溶胶。

　　在进行粒子计数器检漏前，被测试过滤器应在额定风速的70%～130%运行，并应确认其送风的均匀性。

　　检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于5.0cm，并应以0.05m/s的速度移动。空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍。

　　C.4.5  安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器的检漏，检测可采用光度计法或粒子计数器法。安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器采用粒子计数器法检漏时，最易穿透粒径的穿透率应大于0.005%。

　　检漏时，被检测过滤器应在设计风速的70%～130%之间进行，并应确认其送风均匀性。上风向引入的大气尘或气溶胶浓度应能满足在下风向测试得到具有统计意义的读数。

　　测试时，采样口应距被测部位30cm～100cm，在管道中应距管壁2.5cm，并应记录实测的含尘浓度。

　　高效空气过滤器检漏的限值，采用光度计法时，不得超过10-4(0.01%);采用粒子计数器法时，不得大于出厂合格透过率的3倍。

　　C.5.1  气流流型的检测应包括气流目测和气流流向的测试。气流目测可采用示踪线法、发烟(雾)法和采用图像处理技术等方法。气流流向的测试宜采用示踪线法、发烟(雾)法和三维法测量气流速度等方法。

　　C.5.2  采用示踪线法时可采用尼龙单丝线、棉线、薄膜带等轻质纤维，并应放置在测试杆的末端，或装在气流中细丝格栅上，应直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动。

　　C.5.3  采用发烟(雾)法时，可采用去离子水，并应用固态二氧化碳(干冰)或雾化器等生成直径为0.5μm～50μm的水雾，采用四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子时，应确保洁净室、室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生的酸伤害。

　　C.5.4  应用图像处理技术进行气流目测时，应采用本规范第C.5.2条得到的在摄像机或膜上的粒子图像数据，并应利用二维空气流速度矢量确认量化的气流特性。C.5.5  采用三维法测量气流速度时，检测点应选择在关键工作区及其工作面高度。根据建设方要求需进行洁净室(区)的气流方向的均匀分布测试时，应进行多点测试，其测试点的选择宜按本规范第C.2节的方法选用。

　　C.6.1  温度测试应确认空气处理设施的温度控制能力。洁净室(区)的温度测试可分为一般温度测试和功能温度测试。一般温度测试应用于“空态”时的洁净室(区)温度测试，功能温度测试应用于洁净室(区)需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时。

　　C.6.3  温度测试应在洁净室(区)气流均匀性测试完成后进行，并应在净化空调系统连续运行24h以上。

　　C.6.4  一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间应至少设1个测点，测试点高度宜为工作面高度。测量时间应至少1.0h，并应至少每6min测量一次，读数稳定后应做好记录。

　　C.6.5  功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格的面积不应超过100m2或与建设方协商确定，每格测点应为1个以上，每个房间测点应至少2个。

　　测试高度应为工作面高度，距洁净室(区)的吊顶、墙面和地面不应小于300mm，并应计及热源等的影响。测量时间应至少1.0h，并应至少每6min测量一次，读数稳定后应做好记录。

　　C.7.1  相对湿度测试应确认空气处理设施的湿度控制能力。湿度测试时洁净室(区)状态应符合本规范第C.6.3条的要求。

　　C.7.2  相对湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度仪器。

　　C.8.1  本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室(区)。适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。可采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

　　C.8.2  采用粒子计数器法时，测量被评价表面的洁净室(区)外部的空气中悬浮粒子浓度，应大于洁净室(区)内的浓度104的倍数，并应至少大于或等于3.5×106/m3;其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时，应添加气溶胶提高浓度。

　　粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室(区)内待测试的接缝密封处或啮合面5cm～10cm;扫描速度应为5cm/s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室(区)内敞开的门0.3m～3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。

　　C.8.3  采用光度计法，测量洁净室(区)内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度，在光度计0.1%档的设定值。